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삼성전자 차세대 초고속 구리배선기술 개발

용인신문 기자  1999.08.04 00:00:00

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삼성전자는 차세대 초고속·저전력 반도체 개발의 핵심 기술공정으로 평가되고 있는 차세대 초고속 구리 배선기술을 개발, 알파 CPU에 적용하는데 성공했다고 최근 밝혔다. 이번 신공정 기술은 알파 CPU에 탑재되는 0.18㎛(미크론) 4층 구리 배선 공정기술로 기존 알루미늄 배선에 비해 20%이상의 속도 향상과 저전력 반도체 제품 개발이 가능한 특성을 갖고 있다. 이에따라 반도체 선발업체들이 치열한 개발경쟁을 벌이고 있는 첨단기술이다. 삼성은 이번 신기술 개발로 구리 다층 배선기술을 사용, 1억개의 트랜지스터를 한 개의 칩에 집적시켜 전력소모와 제조비용을 획기적으로 줄일 수 있게 됐다.
삼성은 올하반기에 7층 구리 배선 기술을 개발해 알파 CPU에 적용, 내년안에 1.2㎓ 동작속도를 가진 알파 CPU 제품을 개발할 계획이다. 또 구리칩 공정기술을 향후 비메모리 제품인 ASIC(주문형 반도체), CDMA, 네트윅 제품 등 전제품에 적용할 예정이다.